Технология приборостроенияприборо­строения

В статье проведен анализ методов автоматического контроля температурных режимов с учетом различных способов получения информации. Проведен анализ существующих приборов для измерения температурных режимов, выявлены их достоинства и недостатки, на основе результатов которого, предложена схема электрическая принципиальная прибора для контроля температурных режимов операции травления кремниевой подложки на основе принципа работы термоэлектрического метода.

 У статті проведено аналіз методів автоматичного контролю температурних режимів з урахуванням різних способів отримання інформації. Проведено аналіз існуючих приладів для вимірювання температурних режимів, виявлено їх переваги та недоліки, на основі результатів якого, запропонована схема електрична принципова приладу для контролю температурних режимів операції травлення кремнієвої підкладки на основі принципу роботи термоелектричного методу.

 The article analyzes the methods of automatic control of temperature modes to suit different ways of getting information. The analysis of existing instruments for measuring temperature modes, identified their strengths and weaknesses, based on which the results of proposed scheme electric basic device for temperature control operation of etching the silicon substrate based on the principle of thermoelectric method.