Технология приборо­строения


Научно-технический журнал

Моделирование процесса автоматизированного контроля формообразования полупроводниковой пластины

В настоящей статье описывается процесс построения модели установки автоматизированного контроля формообразования полупроводниковой пластины, приводятся состав и краткое описание модели, процесс ее построения, а также процедура компоновки модели. Также в статье рассмотрены процессы подготовки к моделированию и сам процесс моделирования.

У дійсній статті описується процес побудови моделі установки автоматизованого контролю формоутворення напівпровідникової пластини, приводяться склад і короткий опис моделі, процес її побудови, а також процедура компонування моделі. Також у статті розглянуті процеси підготовки до моделювання і сам процес моделювання.

Modelling of process of the automated control of processing of a semi-conductor plate. In present clause process of construction of model of installation of the automated control of processing of a semi-conductor plate is described, the structure and the brief description of model, process of its construction, and also procedure of configuration of model are resulted. Also in clause processes of preparation for modelling and process of modelling are considered.

Скачать полную версию статьи