Технология приборостроенияприборо­строения

Мікроелектромеханічні актюари складаються з пристроїв різноманітної фізичної природи, таких як авіа-, гідро-, акусто-, механічні, опто-, електричні і т.д. та його особливих якостей. Конвергенція такого пристрою у єдине ціле являється основним принципом технології мікросистем. Гнучкість має істотне значення у мікродоменах та є базою для систем з розподіленими та зосередженими гнучкими елементами.

Микроэлектромеханические актюаторы состоят из устройств различной физической природы, таких как авиа-,гидро-,акусто-, механическая, опто-, электрические, и т.д., и его особых качеств.Конвергенция такого устройства в единое целое является основным принципом технологии микросистем. Гибкость имеет существенное значение в микродоменах и является базой для систем с распределенными и сосредоточенными гибкими элементами.

Microactuators consist of devices different physical nature such as air-, hydro-, acustic-, mechanical, opto-, electrical, etc and its special qualities. Convergence such device in single whole is main principle of microsystems technologies. Flexibility is great value in microdomain and is base for systems with distributed and concentrated flexible elements.