Технология приборостроенияприборо­строения

У статті наведено результати дослідження термічного впливу на чутливу мембрану МЕМС ємнісного датчика тиску, що відбувається на етапі його пакування у корпус. Наведено аналіз структури й особливостей функціонування зазначених датчиків з прямокутною мембраною, їх математична  модель функціонування та імітаційна модель.

 В статье приведены исследования термического воздействияна чувствительную мембрану МЭМС емкостного датчика давления, возникающего на этапе его упаковки в корпус. Приведен анализ структуры и особенностей функционирования указанных датчиков с прямоугольной мембраной, их математическая модель функционирования и имитационная модель.

 In this article the results of study of the thermal effect on the capacitive pressure sensor sensitive MEMS membrane that occurs at the stage of its packaging in the body are presented. An analysis of the structure and features of the operation of this sensor with a rectangular membrane, mathematical model of its operation and simulation model are given.