Технология приборостроенияприборостроения
Научно-технический журнал
Авторы: Д.т.н. И.Ш. Невлюдов, к.т.н. В.А. Палагин, Ю.И. Богдан
Уменьшение размеров, электромеханические и другие аналогии существенно меняют свойства компонентов МЭМС. Этиэффектыдолжныучитываться.
Зменшення розмірів, електромеханічні та інші аналогії суттєво змінюють властивості компонентів МЕМС. Ці ефекти мають бути враховані.
Scaling, electromechanical and other analogies essentially change properties of MEMS components. These effects should be taken into consideration.