Технология приборо­строения


Научно-технический журнал

Электрические характеристики кислородосодержащих слоистых структур на основе ниобия и тантала

Исследованы электрические характеристики  анодных окисных пленок на основе тантала и ниобия. Установлены качественные различия в характере влияния кислорода в ниобии и тантале на протекание инжекционных токов в слоистых структурах на основе этих металлов. В результате локального перенасыщения кислородом твердого раствора  происходит выделение кристаллического оксида , либо метастабильных кристаллических фаз низших оксидов тантала.

 Досліджено електричні характеристики анодних окисних плівок на основі танталу і ніобію. Встановлено якісні відмінності в характері впливу кисню в ніобії і танталі на перебіг інжекційних струмів в шаруватих структурах на основі цих металів. В результаті локального перенасичення киснем твердого розчину  відбувається виділення кристалічного оксиду , або метастабільних кристалічних фаз нижчих оксидів танталу.

 The electrical characteristics of anodic oxide films based on tantalum and niobium were studied. Qualitative differences in the nature of the influence of oxygen in niobium and tantalum on the flow of injection currents in layered structures based on these metals are established. As a result of local super saturation of the solid solution with oxygen, crystalline oxide or metastable crystalline phases of lower tantalum oxides are released.

Скачать полную версию статьи