Технология приборостроенияприборостроения
Научно-технический журнал
Авторы: Д.т.н. И.Ш. Невлюдов, к.т.н. В.В. Евсеев, В.О. Бортникова, Я.О. Замирец
В статьепроведен анализ существующих классификаций устройств на основе МЭМС. Предложен новый граф декомпозиции устройств на основе МЭМС для решения задач автоматизации. Разработана параметрическая модель для подгруппы акселерометров.
У статті проведено аналіз існуючих класифікацій пристроїв на основі МЕМС. Запропоновано новий граф декомпозиції пристроїв на основі МЕМС для вирішення завдань автоматизації. Розроблено параметрична модель для підгрупи акселерометрів.
Тhe existing classifications of the MEMS devices are analyzed in the article. The new graph decomposition of the MEMS devices for automation solutions was proposed. A parametric model for a subgroup of accelerometers was developed.