Технология приборостроенияприборо­строения

У статті розглянуті існуючі методи отримання наноструктурованих діелектричних плівок. Розглядаючи методи отримання наноструктурованих діелектричних плівок були виявлені переваги та недоліки кожного з них. Серед розглянутих методів обрано найефективніший з точки зору отримання плівок з заздалегідь заданими параметрами, та подальшої автоматизації методу.

 В статьерассмотрены методы получения наноструктурированных диэлектрических пленок. Рассматривая методы получения наноструктурированных диэлектрических пленок были выявлены достоинства и недостатки каждого из них. Среди рассмотренных методов выбрано самый эффективный с точки зрения получения пленок с заранее заданными параметрами и дальнейшей автоматизации метода.

 The article describes methods for producing nanostructured dielectric films. Considering the methods of preparation of nanostructured dielectric films were found advantages and disadvantages of each. Among the methods considered chosen the most effective in terms of producing films with predetermined parameters and further automation of the method.