Технология приборостроенияприборостроения
Научно-технический журнал
Авторы: Д.т.н. И.Ш. Невлюдов, к.т.н. В.В. Евсеев, В.О. Бортникова, Я.О. Замирец
В статье проанализированы современные средства, автоматизации проектирования МЭМС устройств: Coventor Ware, Tanner Pro, ANSYS, MEMCAD, COMSOL Multiphysics, SUGAR
В статті проаналізовано сучасні засоби автоматизації проектування МЕМС пристроїв: Coventor Ware, Tanner Pro, ANSYS, MEMCAD, COMSOL Multiphysics, SUGAR
The modern MEMS devices design CAD tools such as: Coventor Ware, Tanner Pro, ANSYS, MEMCAD, COMSOL Multiphysics, SUGAR are analyzed In the article