The Technology of the Instrumentation

В статье рассмотрены технологические процессы обработки материалов микросистемной техники, в частности анизотропное травление кремния, наноимпринтинг, наноипринтенговая литография, самосборка.

У статті розглянуто технологічні процеси обробки матеріалів мікросистемної техніки, зокрема анізотропне травлення кремнію, наноімпрінтінг, наноіпрінтенговая літографія, само складання.

The article describes the processes materials processing microsystem technology, in particular anisotropic etching, nanoimprint, nanoiprinп lithography, self-assembing.