The Technology of the Instrumentation

В статье приведен анализ электрофизических свойств  диэлектрических пленок в зависимости от параметров технологичного процесса. Описаны основные факторы, влияющие на свойства пленок, представлены графики зависимости от этих факторов. Проведенный анализ позволяет определить оптимальные управляющие воздействия, для построения математической модели получения диэлектрических пленок.

 У статті наведено аналіз електрофізичних властивостей діелектричних плівок в залежності від параметрів технологічного процесу. Описано основні фактори, які впливають на властивості плівок, представлені графіки залежності від цих факторів. Проведений аналіз дозволяє визначити оптимальні керуючі впливу, для побудови математичної моделі отримання діелектричних плівок.

 The article analyzes the electrophysical properties of dielectric films depending on the parameters of the process. The main factors influencing the properties of films are described, graphs of dependence on these factors are presented. The analysis allows to determine the optimal control actions for the construction of a mathematical model for the production of dielectric slicks.