The Technology of the Instrumentation

У статті розглядаються методи контролю якості поверхонь виробів електронної техніки, МЕМС та МОЕМС для реалізації задачі технологічного забезпечення контролю якості та для подальшого удосконалення на етапі готової продукції. За проведеними дослідженнями  обирається метод неруйнівного контролю якості, а саме інтерференційний метод контролю.

 В статье рассматриваются методы контроля качества поверхностей изделий электронной техники, МЭМС и МОЕМС для реализации задачи технологического обеспечения контроля качества и для дальнейшего совершенствования на этапе готовой продукции. По проведенным исследованиям выбирается метод неразрушающего контроля качества, а именно интерференционный метод контроля.

The article deals with methods of quality control of surfaces of electronic products, MEMS and MOEMS for the implementation of the task of technological quality control and for further improvement at the stage of finished products. According to the conducted research, the method of non-destructive quality control is chosen, namely the interference method of control.